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应变式压力传感器

[拼音]:yingbianshi yali chuanganqi

[外文]:straingauge pressure transducer

利用弹 敏感元件和应变计将被测压力转换为相应电阻值变化的压力传感器。应变计中应用最多的是粘贴式应变计(即应变片)。它的主要缺点是输出信号小、线 范围窄,而且动态响应较差(见电阻应变计、半导体应变计)。但由于应变片的体积小,商品化的应变片有多种规格可供选择,而且可以灵活设计弹 敏感元件的形式以适应各种应用场合,所以用应变片制造的应变式压力传感器仍有广泛的应用。按弹 敏感元件结构的不同,应变式压力传感器大致可分为应变管式、膜片式、应变梁式和组合式4种。

应变管式

又称应变筒式。它的弹 敏感元件为一端封闭的薄壁圆筒,其另一端带有法兰与被测系统连接(图1)。在筒壁上贴有2片或4片应变片,其中一半贴在实心部分作为温度补偿片,另一半作为测量应变片。当没有压力时 4片应变片组成平衡的全桥式电路;当压力作用于内腔时,圆筒变形成“腰鼓形”,使电桥失去平衡,输出与压力成一定关系的电压。这种传感器还可以利用活塞将被测压力转换为力传递到应变筒上或通过垂链形状的膜片传递被测压力。应变管式压力传感器的结构简单、制造方便、适用 强,在火箭弹、 弹和火 的动态压力测量方面有广泛应用。

膜片式

它的弹 敏感元件为周边固定圆形金属平膜片。膜片受压力变形时,中心处径向应变和切向应变均达到正的很大值,而边缘处径向应变达到负的很大值,切向应变为零。因此常把两个应变片分别贴在正负很大应变处,并接成相邻桥臂的半桥电路以获得较大灵敏度和温度补偿作用。采用圆形箔式应变计(见电阻应变计)则能很大限度地利用膜片的应变效果(图2)。这种传感器的非线 较显著。膜片式压力传感器的很新产品是将弹 敏感元件和应变片的作用集于单晶硅膜片一身,即采用集成电路工艺在单晶硅膜片上扩散制作电阻条,并采用周边固定结构制成的固态压力传感器(见压阻式传感器)。

应变梁式

测量较小压力时,可采用固定梁或等强度梁的结构。一种方法是用膜片把压力转换为力再通过传力杆传递给应变梁。图3中两端固定梁的很大应变处在梁的两端和中点,应变片就贴在这些地方。这种结构还有其他形式,例如可采用悬梁与膜片或波纹管构成。

组合式

在组合式应变压力传感器中,弹 敏感元件可分为感受元件和弹 应变元件。感受元件把压力转换为力传递到弹 应变元件应变最敏感的部位,而应变片则贴在弹 应变元件的很大应变处。实际上较复杂的应变管式和应变梁式都属于这种型式。感受元件有膜片、膜盒、波纹管、波登管等,弹 应变元件有悬臂梁、固定梁、Π形梁、 环形梁、薄壁筒等。它们之间可根据不同需要组合成多种型式。

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