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旋片真空泵

[拼音]:xuanpian zhenkongbeng

[外文]:sliding-vane rotary vacuum pump

装有滑片的偏置转子在泵腔内作回转运动,使由滑片分隔的泵腔工作室容积周期 变化以实现抽气的真空泵,又称滑片真空泵。图为旋片真空泵的工作原理。它主要由泵体(静子)和转子组成。在转子槽中装有两块以上的滑片,有些泵滑片间还装有弹簧。转子偏心地装在泵腔内,其外缘与泵腔顶部表面的间隙为2~3微米。转子旋转时,在离心力等作用下,滑片沿槽作往复滑动并与泵腔内壁始终保持接触,将泵腔分成两个或几个可变容积的工作室。转子顺时针方向旋转时,与吸气口相通的吸气腔容积由零逐渐增大,腔内气体压力降低,被抽气体便从吸气口源源不断地吸入(图中a)。同时,与排气口相通的排气腔容积由大变小,吸入腔内的气体被压缩,待气体压力高于大气压力时,推开排气阀排出大气(图中b)。转子连续转动,泵便不断抽气。

排气阀浸在油里,油通过排气阀和油孔进入泵腔,使泵腔内所有运动件的表面覆盖一层油膜,密封住吸气腔与排气腔间的间隙,防止气体返流。这些油还能减少排气腔内的有害空间,以消除它们对极限压力的影响。因此这种真空泵是一种油封式机械真空泵。随着技术的发展、制造工艺的完善和优质材料的选用,小型滑片真空泵的转轴可与电动机轴直联,转速可高达1450转/分,大大提高了泵的抽气速率和减轻了泵的重量。

滑片真空泵的抽速范围为0.5~150升/秒(1升=10-3米3),工作压力范围一般为1×105~1帕,较大抽速的压力范围为1×105~13帕。极限压力:单级泵为1帕,双级泵为6.5×10-2帕。旋片真空泵一般只适于抽除干燥或含有少量可凝 蒸汽的气体(对于后者须装气镇阀),不适于抽除含氧过高、爆炸 、腐蚀 、对泵油起化学作用和含有固体颗粒的气体。在真空系统中,这种泵可单独使用,或作为增压泵、扩散泵等的前级泵。

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