[拼音]：tiaowen saomiao gansheyi

[外文]：fringe scanning interferometer

用调制参考波面使干涉条纹对探测器扫描来实现波面位相精密探测的仪器。以特外曼－格林型条纹扫描干涉仪为例。如图所示，该干涉仪参考波面的调制是通过压电晶体驱动参考反射镜来达到的。调制的干涉条纹被32×32二极管阵列所接收，用一台小型电子计算机及一系列外部设备对测量过程进行控制、计算及显示，完成对被测件（包括平面、球面及镜头）1024点的位相探测，测量精度可达λ/100。

条纹扫描干涉仪的特点：

（1）干涉系统本身的误差可用绝对校正法测出和存储，并在后续的波面测试中自动除去，因此降低了干涉系统各光学元件的加工要求。当要求测量精度为λ/100时，干涉系统的波面误差只要1λ就够了。

（2）由于二极管阵列上光强以随机形式多次取样和平均，因此大气抖动、振动及热变形对测量精度的影响明显下降。

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