[拼音]：lizi tanzhen fenxiyi

[外文]：ion microprobe yzer

利用高能离子束轰击试样表面，使之溅射出二次离子并引入质谱计进行元素分析及测定元素同位素比值的仪器。离子探针由离子源，离子光学系统，质量分析器，光学显微镜,置样室,质谱计和检测系统等部分组成（见图）。

其工作原理是：由离子源发射的一次离子(常用的是O-和Ar+)，被加速到一定能量后轰击试样表面，使试样溅射出粒子，其中大多数以原子、分子状态溅射，而少部分以离子溅射（即二次离子）。这些二次离子经引出场加速后送入质谱计进行质／荷分离，之后经检测系统进行元素定性、定量分析和同位素比值测定。离子探针的绝对检出限达10-15～10-19克，是任何化学分析仪器所不及的。由于溅射过程可以控制和微区化,所以可进行固体物质的表面分析,也可以用离子束对试样逐次剥蚀，进行深度分析。横向空间分辨率达1微米级、深度分辨率达5～10纳米，能测定周期表中所有元素和某些元素的同位素比值，是微区、微量元素分析的重要仪器。但由于二次离子溅射机理较为复杂，定量分析还有待研究改进。地质学中用于微细矿物中痕量元素和同位素比值的测定。

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